型号:JDP560
制造厂家:沈阳科学仪器股份有限公司
购置时间:2013年
真空度10-6Pa
1000W直流电源
500W射频电源
室温到500℃衬底温度
能实现金属、半导体、绝缘材料溅射沉积
2台射频电源;1台直流电源
2英寸样品托
靶材3英寸
无
按机时计费
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